蔡司Sigma 300/500系列是擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡。它收益于久經考
驗的Gemini電子光學技術。Sigma300/500可以配備多種探 測器，可以滿足不同的應用需求：顆粒物，表面構型及納米結構等樣品的成像。利用Sigma 300/500直觀的4 步工作流程，可以使得日常所需的成 像和分析的效率得到提高。

蔡司Sigma 300

蔡司Sigma 500

電子槍

肖特基場發射

肖特基場發射

15kV 對應分辨率

1.0 nm

0.8 nm

1kV 對應分辨率

1.6 nm

1.4 nm

背散射電子探測器類型

HD BSD

HD BSD

最大掃描速度

50 ns/pixel

50 ns/pixel

加速電壓

0.02 – 30 kV

0.02 – 30 kV

放大倍率

10× – 1,000,000 ×

10× – 1,000,000 ×

探針束流

3pA -20nA  (選 20nA )    

6pA -100nA  (選 100nA)

3pA -20nA  (選 20nA )

6pA -100nA  (選 100nA)

圖像存儲分辨率

32  k × 24  k pixels

接口

12

能譜接口

2  ( 1 個 EDS 專用及誒口)         3  (2 個 EDS 專用及誒口)

高真空模式

Yes

Yes

樣品倉尺寸

365 mm (?) x 275 mm (h)

2 – 133 Pa

358 mm (?) x 270.5 mm (h)

樣品臺種類

全電動5軸樣品臺

可選配全電動5軸樣品臺            

全電動5軸優中心樣品臺

X 方向移動范圍

125mm

130mm

125mm

Y 方向移動范圍

125mm

130mm

125mm

Z 方向移動范圍

50mm

50mm

50mm

傾斜范圍

-10 to +90 degrees

-3 to +70 degrees                  

-10 to +90 degrees

旋轉范圍

360° Continuous

360° Continuous                      360° Continuous

最大樣品載重

Up to 0.5 kg all axes, up to 2kg without tilt, up to 5 kg on XY platform only

Up to 0.5 kg

Up to 0.5 kg all axes, up to 2kg without tilt, up to 5 kg on XY    platform only

最大樣品尺寸

250 mm (?) x 145 mm (h), With the ZTR module removed; At the analytical working distance